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台积电、联芯洁净室AMC监测系统
台积电、联芯、友达MAU监测系统
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洁净室AMC监测系统,主要进行洁净室微污染气体分子监控用,以下是一些仪器功能介绍:

1.氨分析仪功能用途: 利用离子迁移谱或化学发光法分析洁净室内或特殊区域环境的氨气体分子实时浓度数据。

2.总酸分析仪功能用途利用离子迁移谱分析洁净室内或特殊区域环境的总酸气体分子实时浓度数据。

3.总硫分析仪系统功能用途利用紫外线荧光法及其配套系统分析洁净室内或特殊区域环境的总硫化合物气体分子实时浓度数据。

4.总有机污染物分析仪功能用途利用气相色谱及其配套系统分析洁净室内或特殊区域环境的总有机污染物气体分子实时浓度数据。

5.分析仪进样器模块功能用途控制分析仪气体进样。

6.分析仪系统控制模块功能用途自动控制气体采样及自动控制气体进样顺序。

7.分析仪进样器模块推车及移动式总有机污染物分析仪系统功能用途搭配不同分析仪,设计可移动的推车内置分析仪气体进样控制,将采集之气体样品供分析仪进行气体样品中氨、总硫、总有机污染物…等浓度分析。将实时结果显示于仪器及/或推车屏幕上。

8.基本静电防治检测稽核组件功能用途带记录装置的检测电压、电流、电阻或功率的仪器用于静电防治量测电场电阻测量。

9.稀释校准器及校准器功能用途利用流量控制稀释或标准气体渗透管的方式校准气体分析仪,确保气体分析仪的准确性。

10. 粉尘分析仪为使用光学射线的其他仪器及装置,利用光散射方法分析洁净室内或特殊区域环境的粉尘状况。

11. 塑料制的软管功能用途: PFA Tube_1/4" & PFA Tube_3/8"气体采样用,以塑料软管将气体样品由采样点传送至分析仪进样器模块或传送至分析仪进样器模块推车供分析仪进行气体样品中氨、总硫、总有机污染物…等浓度分析。

 

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